Detettore di perdite di elio a pompa secca per il rilevamento di perdite di wafer SFJ-231D
Parametri tecnici del rilevatore di perdite di elio SFJ-231D
| Nome del prodotto |
Detettore di perdite di elio SFJ-231D |
| Tasso minimo di perdita rilevabile ((Pa·m3/s) / modalità vuoto |
5.0*10-13 anni.Pa·m3/s |
| Tasso minimo di perdita rilevabile ((Pa·m3/s) / modalità sniffer |
5.0*10-9Pa·m3/s |
| Pressione massima ammissibile di rilevamento di perdite (Pa) |
1500 |
| Tempo di risposta |
< 1s |
| Tempo di avvio |
≤ 2 minuti |
| Qualità rilevabile |
2, 3,4 ((H2,He3, He4) |
| Interfaccia uomo-macchina |
schermo LCD touch colorato da 7 pollici |
| Fonte ionica |
2pcs, ossido di itrio rivestito con iridio, con commutazione automatica |
| Interfaccia I/O Input/Output |
8 input e 8 output |
| Interfaccia di comunicazione |
RS232/485, USB*2 |
| Interfaccia MES |
standard |
| Porta di rilevamento delle perdite |
DN25KF |
| Fornitore di energia |
AC220V, 50Hz/60Hz |
| Temperatura di funzionamento |
0~40°C |
| Lingua |
Inglese |
| Visualizzazione del tasso di perdita |
Figura, grafico a barre, grafico a curva |
| Dimensione |
645*678*965 mm |
Applicazione del rilevatore di perdite di elio SFJ-231Dper il Wafer
Nella tecnologia di rilevamento delle perdite mediante spettrometria di massa dell'elio, l'applicazione di pompe a secco (pompe a vuoto a secco prive di olio) dipende principalmente dalle condizioni di lavoro delle apparecchiature da ispezionare,i requisiti di pulizia e i requisiti tecnici dei rilevatori di perdite di spettrometria di massa dell'elio (e.g. Wayeal SFJ-231D).
Metodo di rilevamento: Metodo dell'elio a spruzzo sotto vuoto (modalità ad alta sensibilità)
1: Evacuazione del sistema e calibrazione di base
Evacuazione a pressione di base: camera di incisione: ≤ 0,1 Pa (combinazione pompa a secco + pompa molecolare); camera CVD/PVD: ≤ 10−3 Pa (requisiti più elevati per le attrezzature di rivestimento).
Calibrazione del rilevatore di perdite: utilizzare un riferimento standard di perdite (ad esempio, 1×10−7 Pa·m3/s) per calibrare lo SFJ-231D e verificare la linearità della risposta dello strumento.
Fase 2: rilevamento degli spray di elio
Area di rilevamento: scanalature per anelli O, fori per bulloni, guarnizioni metalliche VCR/VCO, giunti di saldatura, isolanti ceramici, guarnizioni in rame, Connessioni di Bellows.
Operazione di spruzzo di elio:
Utilizzare una pistola a spruzzo di elio portatile (con ugello di regolazione fine da 0,1 mm) a 3-5 mm di distanza dal punto di rilevamento.Regolare la pressione dell' elio a 0..2-0.3MPa per evitare disturbi del flusso d'aria.
Fase 3: determinazione e registrazione del punto di fuga
Tasso di fuga: Per le apparecchiature a semiconduttore, il tasso di perdita ammissibile: in genere ≤ 1 × 10−9 Pa·m3/s (per gli standard SEMI).
Registrazione dei dati: Quando l'SFJ-231D mostra un picco di perdita, segna il punto di perdita con una penna di evidenziamento.
Salvare le curve del tasso di fuga e i dati di posizione (esportazione via USB).
Fase 4: riesame e verifica
Eseguire un secondo spruzzo di elio sulle perdite identificate per confermare la ripetibilità.
Dopo aver riparato le perdite maggiori, ri-evacuazione alla pressione di base e eseguire una nuova ispezione completa.
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