Macchina di rilevamento di perdite di elio a vuoto certificata CE per l'industria dei semiconduttori

Detettore di perdite di elio SFJ-16M

Indicatori di prestazione






 

Tasso minimo di perdita rilevabile
(Pa·m)³/s) / modalità vuoto

Modalità vuoto (ULTRA):5.0×10^{-13 anni.} Pa·m³/s(velocità di pompaggio dell'elio > 5 l/s)
Modalità a vuoto (FINE):1.0×10^{- 12} Pa·m³/s(velocità di pompaggio dell'elio 2,5L/s)

Tasso minimo di perdita rilevabile
(Pa·m3/s) / modalità sniffer

5.0×10^-8Pa·m³/s

Tempo di risposta

< 1

Tempo di avvio (min)

≤ 95 s

Intervallo di rilevamento delle perdite
(Pa·m)³/s)

5.0×10^{-13 anni.}~1,0 x 10^-3Pa·m³/s

Intervallo di visualizzazione del tasso di fuga
(Pa·m)³/s)

1.0×10^{-13 anni.}~1,0 x 10^-3 Pa·m³/s

Pressione massima ammissibile di rilevamento di perdite ((Pa)

1500

Qualità rilevabile

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Configurazione di base










 

Interfaccia uomo-macchina

schermo LCD a colori da 5"

Fonte ionica

2pcs, ossido di itrio rivestito con iridio, con commutazione automatica

Interfaccia I/O Input/Output

Otto input e otto output

Interfaccia di comunicazione

RS232/485, LAN

Interfaccia MES

Norme

Dimensioni fisiche dello strumento
(W) ×(D) ×(H), mm

592 * 498 * 370 mm

Specificità della porta di rilevamento delle perdite

DN16 KF/2 pezzi

Fornitore di energia

DC24V

Temperatura di funzionamento

0-40oC

Potenza

240 W

Linguaggio di visualizzazione

Sia cinese che inglese

Visualizzazione del tasso di perdita

Figura, grafico a barre, grafico a curva