Macchina di rilevamento di perdite di elio a vuoto certificata CE per l'industria dei semiconduttori

Indicatori di prestazione

Tasso di perdita minimo rilevabile






 

(Pa·m3/s) / modalità sniffer
3^/sModalità vuoto (ULTRA): 5.0×10

-13^~1.0×10 3^/sPressione massima di rilevamento delle perdite consentita (Pa)Modalità vuoto (FINE): 1.0×10
-12^Pa·m 3^/sPressione massima di rilevamento delle perdite consentita (Pa)Tasso di perdita minimo rilevabile

(Pa·m3/s) / modalità sniffer
5.0×10

-13^Pa·m3^/sPressione massima di rilevamento delle perdite consentita (Pa)

<1

Tempo di avvio (min)

≤95s

Intervallo di rilevamento delle perdite

(Pa·m
3^/s1.0×10

-13^~1.0×10-3^Pa·m3^/sPressione massima di rilevamento delle perdite consentita (Pa)

(Pa·m
3^/s1.0×10

-13^~1.0×10-3^Pa·m 3^/sPressione massima di rilevamento delle perdite consentita (Pa)

1500

Qualità rilevabile

2,3,4 (H2, He3, He4)

Configurazione di base

Interfaccia uomo-macchina










 

Schermo tattile LCD a colori da 5"

Sorgente ionica

2 pezzi, ossido di ittrio rivestito di iridio, commutazione automatica

Interfaccia I/O Input/output

Otto ingressi e otto uscite

Interfaccia di comunicazione

RS232/485, LAN

Interfaccia MES

Standard

Dimensioni fisiche dello strumento

(L)×(P)×(A), mm
592 * 498 * 370 mm

Specifiche della porta di rilevamento delle perdite

DN16 KF/2 pezzi

Alimentazione

DC24V

Temperatura di esercizio

0-40ºC

Potenza

240W

Lingua di visualizzazione

Cinese e inglese

Visualizzazione del tasso di perdita

Figura, grafico a barre, grafico a curve

Prestazioni del rilevatore di perdite di elio