Sistema di rilevamento di perdite di elio in camera a vuoto per componenti/sigilli di semiconduttori

Sistema di rilevamento di perdite di elio in camera a vuoto per componenti/sigilli di semiconduttori

Introduzione b del sistema di rilevamento delle perdite di elio

La soluzione è costituita da un serbatoio a elio a pressione, un serbatoio di rilevamento delle perdite e un rilevatore di perdite con spettrometro di massa di elio.

Caratteristiche del sistema di rilevamento delle perdite di elio

1La progettazione del circuito di gas unico migliora la velocità di pompaggio dell'elio, accorcia il tempo di fondo di pulizia dell'elio e previene efficacemente l'inquinamento da elio;

2Il tasso minimo di perdita rilevabile è basso, la sensibilità è elevata e la gamma di rilevamento può arrivare fino al livello 12;

3- funzioni di segnalazione di guasti e di allarme intelligenti.

Composizione del sistema di rilevamento delle perdite di elio

La soluzione è composta da un serbatoio di elio a pressione, un serbatoio di rilevamento di perdite e un rilevatore di perdite con spettrometro di massa di elio.il gas elio della concentrazione specificata

Applicazione del prodotto

Industria dei semiconduttori, componenti/sigilli