Misuratore di vuoto Pirani in acciaio inossidabile per rilevatore di perdite di elio

Introduzione del Vacuometro Pirani

Il vacuometro Pirani è un sensore chiave nel sistema a vuoto di un rilevatore di perdite a spettrometro di massa ad elio, utilizzato per misurare la pressione nella gamma di vuoto medio-basso (in particolare durante la fase di pompaggio preliminare). Il suo elemento sensibile principale è tipicamente realizzato con metalli come tungsteno o nichel, mentre l'alloggiamento complessivo è costruito in acciaio inossidabile.

Funzione del Vacuometro Pirani

Il vacuometro Pirani svolge i ruoli di "monitor di processo" e "protettore del sistema" nei rilevatori di perdite a spettrometro di massa ad elio, con le seguenti funzioni specifiche:
Monitoraggio della Pressione del Vuoto di Pompaggio Preliminare (Foreline):
All'avvio del rilevatore di perdite, la pompa meccanica deve prima evacuare il sistema a vuoto dalla pressione atmosferica a una pressione relativamente bassa (tipicamente dell'ordine di 10 Pa a 0,1 Pa). Il vacuometro Pirani monitora le variazioni di pressione durante questa fase in tempo reale e le visualizza sull'interfaccia dello strumento.
Fornitura di un Segnale di Interblocco per l'Apertura della Valvola per Alto Vuoto (Funzione di Protezione Principale):
La camera principale dello spettrometro di massa del rilevatore di perdite può operare solo in condizioni di alto vuoto (tipicamente inferiori a 0,1 Pa). Se la valvola per alto vuoto (che collega la pompa meccanica alla pompa a diffusione/turbomolecolare) viene aperta prima che la pressione della foreline sia sufficientemente bassa, può danneggiare gravemente la pompa per alto vuoto e contaminare l'intero sistema.
Il vacuometro Pirani è interbloccato con il sistema di controllo dello strumento. Il sistema di controllo consentirà l'apertura della valvola per alto vuoto e l'avvio della pompa turbomolecolare solo quando il vacuometro Pirani rileva che la pressione della foreline è inferiore a una soglia di sicurezza preimpostata. Questa è una misura di sicurezza fondamentale per proteggere la costosa pompa per alto vuoto e lo spettrometro di massa.
Assistenza nella Diagnosi dello Stato del Sistema e della Localizzazione delle Perdite:
Osservando la velocità di caduta della pressione durante il pompaggio e la pressione stabile finale raggiungibile, è possibile determinare preliminarmente se il sistema presenta una grossa perdita (la pressione non scende costantemente) o un degassamento interno significativo (la pressione scende lentamente).
Durante il test di tenuta, se l'irrorazione di elio non solo innesca una risposta del segnale dello spettrometro di massa, ma provoca anche un notevole aumento della lettura del vacuometro Pirani, di solito indica la presenza di una perdita relativamente grande.